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光学微电子无尘净化车间设计布局与装修要求

光学微电子无尘净化车间设计布局与装修要求

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  • 来源:
  • 发布时间:2023-09-11
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【概要描述】光学微电子无尘净化车间目前主要应用于工业半导体、电子行业等,微电子超净无尘车间的设计理念比较其他行业要求较高。下面简要介绍光学微电子行业无尘净化车间的设计布局与装修要求:

光学微电子无尘净化车间设计布局与装修要求

【概要描述】光学微电子无尘净化车间目前主要应用于工业半导体、电子行业等,微电子超净无尘车间的设计理念比较其他行业要求较高。下面简要介绍光学微电子行业无尘净化车间的设计布局与装修要求:

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光学微电子无尘净化车间目前主要应用于工业半导体、电子行业等,微电子超净无尘车间的设计理念比较其他行业要求较高。下面简要介绍光学微电子行业无尘净化车间的设计布局与装修要求:

 

一、光学微电子超净无尘车间平面布局要求

1. 净化车间洁净生产区:洁净等级设置为百级、千级或万级。

2. 无尘生产辅助用房:洁净等级设置为万级、十万级,一般包括人流进出洁净用房,物料进出清洁区和部分车间办公生活区等。

3. 超净净化车间管理区:洁净等级设置为十万级或三十万级,一般包括办公室、会议室、值班室和休息区。

4. 车间生产专用设备区:该区域对空气净化等级没有要求,但要求与净化车间设置有效的物理或空气隔离,本区域主要设置净化空调机房、电气用房、纯水间、生产用气间。

 

二、光学微电子超净无尘车间装修要求

1. 车间吊顶材料:采用FFU盲板或选用防火彩钢板,吊顶内须可上人,对承重要进行详细技术。

2. 车间墙体装修材料:采用防火彩钢板,彩钢板厚度为50mm,可以尽量有效的适用场地的占地面积,该彩钢板在安装时需要进行接地处理,以到达排放静电的功能。

3. 车间地面装修:一般选用环氧自流平或PVC卷材,但无尘车间内须对上述两种材料进行抗静电处理。

 

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